Matmeas RMS 1000pシリーズ 高温導電性材料抵抗率測定システム

Matmeas RMS-1000p高温4プローブ測定システムは、主に半導体フィルムとシートの電気伝導率を評価するために使用されます, このシステムは、インライン4プローブ測定原理と、単結晶シリコンの物理的試験方法の国家標準および米国 A.S.T.M を参照しています。. 標準設計と開発, 高温を実現可能, シリコンを測定するための真空および不活性雰囲気条件, ゲルマニウム単結晶 (バー, ウェハ) 抵抗率とシリコン システムは米国の A.S.T.M. を参照して設計および開発されています。. 標準であり、シリコンおよびゲルマニウム単結晶の抵抗率を測定できます (ロッドとウェハ) とシリコンエピタキシャル層の二乗抵抗, 拡散層とイオン注入層, 導電性ガラスの二乗抵抗と抵抗率も同様 (ITO) 高温下でのその他の導電性フィルム, 真空および不活性雰囲気. 半導体薄膜やシート材料の電気的特性を研究する研究機関や事業部門で., 使用されています。.

測定温度: 室温～600℃/1000℃
昇温速度: 0-10℃/分 (標準: 3℃/分)
温度制御精度: ±0.5℃
抵抗測定範囲: 0.1mΩ～100MΩ
陽性測定範囲: 1mΩ.cm～100MΩ.cm
方形抵抗範囲: 0.1mΩ～100MΩ
測定環境: 空気, 流動雰囲気, 真空雰囲気
測定の組み合わせ: 4プローブの二重電気測定の組み合わせ測定
サンプルサイズ: φ15～30mm, d<4mmシートまたはフィルム
電極材質: WC(タングステンカーバイド)針 / 白金プローブ
データ保存形式: TXTテキストフォーマット
データ転送: USB
電源: 220V±10%, 50Hz
動作温度: 5℃～+40℃.
保管温度: -40℃～+65℃
動作湿度: まで 95% +40℃での相対湿度 (結露なし)
装置サイズ: 630×640×450mm (LxHxW)
重さ:38kg
保証: 1 年