Le système de mesure à quatre sondes haute température MatMeas RMS-1000P est principalement utilisé pour évaluer la conductivité électrique des films et feuilles semi-conducteurs., le système adopte le principe de mesure en ligne à quatre sondes et la norme nationale de la méthode de test physique du silicium monocristallin et la référence à l'American A.S.T.M.. conception et développement de normes, peut réaliser des températures élevées, conditions de vide et d'atmosphère inerte pour mesurer le silicium, monocristal de germanium (bar, tranche) résistivité et silicium Le système est conçu et développé en référence à la norme américaine A.S.T.M.. Standard et peut mesurer la résistivité des monocristaux de silicium et de germanium (bâtonnets et plaquettes) et la résistance carrée des couches épitaxiales de silicium, couches de diffusion et couches d'implantation ionique, ainsi que la résistance carrée et la résistivité du verre conducteur (CE) et autres films conducteurs sous haute température, vide et atmosphère inerte. Le système est largement utilisé dans les universités, instituts de recherche et unités commerciales pour étudier les propriétés électriques des matériaux semi-conducteurs en couches et feuilles minces.
Température de mesure: RT-600 ° C / 1000 ° C
Rampe de température: 0-10°C/minute (valeur typique: 3C / min)
Précision du contrôle de la température: ±0.5°C
Plage de mesure de résistance: 0.1~ 100m
Plage de mesure électropositive: 1mΩ.cm~100MΩ.cm
Plage de résistance carrée: 0.1~ 100m
Environnement de mesure: air, atmosphère fluide, atmosphère sous vide
Combinaison de mesures: Mesure combinée de mesure électrique double à quatre sondes
Taille de l'échantillon: φ15~30mm, d<4mm feuille ou film
Matériau d'électrode: aiguille en carbure de tungstène / sonde en platine
Format de stockage des données: Format de texte TXT
Transfert de données: USB
Source de courant: 220V±10 %, 50hertz
Température de fonctionnement: 5C à +40C.
Température de stockage: -40C à +65C
Humidité d'exploitation: jusqu'à 95% humidité relative à +40°C (sans condensation)
Taille de l'équipement: 630x640x450mm (LxHxP)
Lester:38kg
garantie: 1 année
